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  • 简介:文章分两部分,第一部分是在牛顿光学基础上导出了曝光光路平行度、曝光能量计算公式,这些公式完全是在牛顿几何光学框架下推导出来,没有任何假定成分,完全适用于曝光光路计算。第二部分则是绝对平行光光路设计,它一改传统PCB曝光光路设计理念,巧妙地用点光源-平面-蝶面光路图,这样不仅得到了绝对平行光,而且是比传统设计方案强得多光。

  • 标签: 平行度 曝光能量 蝶面 蝴蝶积分