简介：摘要单晶硅片表面脏污是金刚线切片行业中常见的不良。总结了单晶硅片清洗过程后出现表面脏污的几种类型，分析其产生产生机理，通过实验验证，提出了解决办法。
简介：摘要随着国内金刚线制造和应用技术的不断成熟，加之市场需求的快速增长不断的刺激金刚线制造技术向细线化方向发展，金刚线细线化切割工艺已成为行业内硅片制造技术发展趋势。越来越细的金刚线满足不同尺寸形状硅片的切割要求就是硅片制造技术需要研究的重要方向。本文主要针对因细线化切割出现规则性碎片进行分析。
单晶硅片表面脏污原因分析及解决措施程志峰
金刚线切割单晶硅片与规则性碎片分析程志峰
