简介：摘要：传统化学氧化法处理蚀刻废水存在氧化剂有毒、氧化效果有限或氧化剂本身增加额外杂离子等问题，再生过程中废液增量，再生循环次数少，实际生产应用有限。本文综述了三氯化铁蚀刻废液的产生过程及再生处理技术的应用进展，将电化学法与化学氧化法比较，针对化学氧化法处理蚀刻废水中存在的问题，介绍了“隔膜—一次通过流程”技术，对优势再生工艺的发展方向提出了建议与展望。
三氯化铁蚀刻液再生循环技术应用研究
