简介:摘要:在我国经济与社会快速发展的今天,我国电力电子技术在近些年也得到了较为长足的进步,而智能功率集成电路与功率半导体器件的完美组合,正是这一进步的最直观体现。本文就智能功率集成电路中功率半导体器件进行了深入研究,希望这一研究能够进一步推动我国电力电子技术的相关发展,早日实现智能功率集成系统大规模的推广应用。
简介:摘要:在半导体集成电路生产时,其过程非常复杂,我们在生产时可以通过生产晶圆、光刻、离子注入沉积等步骤,同时本文探讨与分析了其测试工艺,从多个角度对其制造工艺全方位进行解读,从而为其进一步发展打下坚实的基础。
智能功率半导体器件与集成电路专用设备中功率半导体器件的研究
半导体器件与集成电路专用设备设计和工艺