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  • 简介:摘要:本文全面探讨了石英晶片抛光工艺的关键要点,包括抛光前的质量要求、抛光工艺流程、抛光所用材料与设备,以及抛光参数的选择与控制。通过分析抛光过程中遇到的常见问题及其解决策略,旨在为实现石英晶片的高效和高质量抛光提供理论指导和实践参考。通过精细控制抛光参数和优化抛光过程,可以有效提高晶片的表面平整度和减少表面粗糙度,从而满足半导体、光电通讯、精密仪器等领域对高质量石英晶片的需求。

  • 标签: 石英晶片 抛光工艺 表面质量 抛光参数 表面粗糙度