简介:摘 要:本论文主要介绍了异型悬挂构架焊接后,产生的焊接残余应力及焊接变形,通过机械外力及火焰局部加热进行调修矫正,使构架产生塑性变形,消除残余应力的同时,抵消焊接变形对构架尺寸产生的影响,从工艺和操作方面对焊接残余应力和焊接变形进行分析,提出针对性的解决方案方法,将构架调修矫正到工艺文件要求范围内,保证产品质量,提高了生产效率。
简介:摘要:随着微机械加工技术的不断提高,MEMS器件生产工艺也随之得到不断开发与完善。而刻蚀技术是MEMS器件生产过程中的关键技术与核心环节,本文就湿法、干法刻蚀分析了代表性的氢氟酸腐蚀刻蚀和ICP刻蚀方法,就其特点和应用进行列比分析,并结合MEMS器件工程项目生产实际提请建设性意见。