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掩模制造过程缺陷来源研究尤春

作者：尤春
学科：电气工程 > 电力系统及自动化
创建时间：2019-07-17
出处：《电力设备》 2019年第7期
机构：（无锡中微掩模电子有限公司江苏无锡214035）

简介：摘要针对集成电路掩模的制作过程中各种缺陷产生的种类及来源进行了基本的系统分析,提出了一些减少或消除这些缺陷的办法和措施。
标签：集成电路掩模缺陷缺陷控制

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