简介：摘要：使用RE215L锥板粘度计对光刻胶样品的表观粘度进行了测试，通过分析转动时间，转速及扭矩等因素对光刻胶粘度的影响，验证了转速对粘度，扭矩对粘度之间存在一定的线性关系。并对光刻胶的粘度测试方法进行了探索，验证合适的扭矩对粘度的测量具有重要的意义，可为光刻胶粘度的测定及在基板上方涂布应用提供参考价值。
光刻胶粘度测试影响因素及粘度值确定方法研究
