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  • 简介:摘要本文使用分子动力模拟方法,构建出了碳化硅晶体的生长模型,模拟研究了碳浓度、生长晶面以及生长温度对碳化硅晶体生长的影响。

  • 标签: 碳化硅 模拟 晶体生长