简介:摘要:碳化硅(SiC)作为第三代宽禁带半导体材料,具有良好的热导性、宽带隙、大击穿电场等优良特性,被广泛应用于高温、高频、大功率等电子器件上。但是由于碳化硅具有很高的硬度和化学稳定性,Si-C键合能较大导致湿法刻蚀无法达到要求,因此针对深孔或高台阶刻蚀多采用感应耦合等离子体(ICP)对SiC进行刻蚀,目前研究人员系统研究了ICP刻蚀条件、气体组成等各种工艺条件对SiC刻蚀的影响;其中镍作为刻蚀掩膜层被广泛应用在刻蚀SiC中,因此镍的耐刻蚀性很重要,在一定程度上决定了刻蚀过程中的SiC/Ni的选择比(SiC刻蚀量与Ni刻蚀量的比值),在同等刻蚀条件下,镍消耗少,SiC/Ni的选择比就高,则所需镍层就薄,从而减少了工艺时间,提高了工艺效率。
简介:摘要:空调作为改善人民居住环境的重要家电,在诸多家庭中已经普及,特别是在炎热的夏季及寒冷的冬季,为我们带来更为舒适的环境。但是,基于环保要求的不断提高,空调在技术升级中需要不断提高使用性能,同时减少电量消耗,降低能耗,才能真正满足和实践环保节能技术要求。基于此,本研究通过对空调制冷技术的介绍与研究,对后续空调制冷技术发展趋势及应用开展论述,希望能为相关从业者提供技术参考,为制冷技术及空调行业发展提供助力。
简介:摘要:建筑装饰装修工程体量大、施工管理内容多样,传统工程管理过程中存在的能源应用浪费以及施工质量低下的现状也是需要进行优化的,所提出的绿色施工理念与当下行业需求正相符合。绿色施工管理目标的达成所涵盖的内容是综合性较强的,在进行施工管理的过程中也需要从多个角度共同进行优化。本文主要提出了在施工管理当中通过控制质量、节约能源、保护环境、降低负面影响的角度明确绿色施工理念的落实,实际上广义绿色施工所指引的内容也在不断扩充当中,随着行业的不断发展以及管理意识的提高,未来也会有更为完善的应用对策为建筑绿色施工提供解决方案。基于此,本篇文章对现代工程技术在建筑工程管理中的应用分析的探析进行研究,以供参考。