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  • 简介:介绍了国外氟化钨的制备和精制工艺进展,重点描述了电子工业中应用的高纯度氟化钨的制备工艺。同时介绍了氟化钨的性质、产品规范、应用及经济等方面的状况,评述了氟化钨在国内外的发展前景。

  • 标签: 六氟化钨 合成 开发 性质 工业化生产 化学气相沉积