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环境友好半导体β-FeSi2薄膜的制备方法研究

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摘要分析了制备和热处理过程中薄膜沉积方法和沉积条件、沉积速率、薄膜厚度、热处理方法和热处理条件等因素对β-FeSi2相的形成的影响，结果表明，影响β-FeSi2相形成的决定性因素是热处理的温度和时间，此外薄膜的沉积方法和薄膜厚度对β-FeSi2相也有重要的影响。

DOI 2d3omw6md9/818819

作者马道京;张晋敏;王衍;朱培强;陈站;谢泉

机构地区不详

出处《纳米科技》 2009年5期

关键词薄膜制备环境友好半导体β-FeSi2 热处理工艺

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2009年05月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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