空气洗涤装置实例设计选型及分析——北京中芯Fab2,P2华山厂务洁净室扩充项目

摘 要：在半导体行业迅速发展的今天，高精确的工艺制程对洁净室环境要求也越来越高，降低AMC对产品良率的影响，控制空气尘埃粒子粒径及数量也是非常关键，文章以北京中芯国际洁净室扩充项目中的空气洗涤装置设计选型实例进行阐述，主要根据该项目设计条件对空气洗涤装置进行设计选型计算，包括循环水量、泵浦、箱体外尺寸及内部结构的选型确认，并结合以往项目运行中出现的问题，梳理设计注意事项，并提出了相应措施。

• 作者: 尹洪腾
• 出处: 《工程建设标准化》 2024年1期
• 关键词: 空气洗涤装置 设计选型实例 循环水量 泵浦
• 分类: [建筑科学][建筑理论]