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《中国科技信息》
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2023年20期
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引线互连技术的可靠性工艺分析
引线互连技术的可靠性工艺分析
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摘要
摘要:阐明了提高微系统组装器件金丝键合互连可靠性的意义和目的,简述了键合的基本原理,介绍了键合质量的几种检测方法,详细分析了影响金丝键合可靠性的各种因素,提出了提高键合可靠性的相应方法、措施和建议。
DOI
lde62e2543/7887617
作者
柳明华
李晋哲
范捷
曲阳
张虹
机构地区
陕西华经微电子股份有限公司 陕西西安 710065
出处
《中国科技信息》
2023年20期
关键词
键合
可靠性
劈刀
分类
[建筑科学][建筑技术科学]
出版日期
2023年12月13日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
中国科技信息
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