首页 > 《上海电机学院学报》 > 2009年2期 > 光刻机常见故障与对策

光刻机常见故障与对策

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要光刻机集光学机械、微电子、计算机、自动控制和精密测量等高新技术于一体,是集成电路制造的关键设备。为维持光刻机正常作业,以企业损失最小为优化目标,对于光刻机常见故障按照设备功能单元逐步缩小排查范围,提出合理的预防措施和故障修复方法。

DOI 0dpq1grw42/770945

作者赵阳

机构地区不详

出处《上海电机学院学报》 2009年2期

关键词集成电路设备维修光刻机曝光

分类 [电气工程][电机]

出版日期 2009年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

相关文献

1邓学文,张强. 步进投影光刻机及其常见故障分析.建筑技术科学,2020-11.
2文燕. 利用光刻机挡板优化MPW光罩布局.物理电子学,2011-04.
3张玉虎聂彬王军帽岳浩. 光照对光刻机焦平面漂移影响的研究.文化科学,2016-04.
4. 国内首台自主知识产权“光刻机”面世.材料科学与工程,2008-02.
5谢尚正. 光刻机的机电设备与建筑设计的关系研究.建筑科学,2023-11.
6潘明波;刘巍. 基于互强度傅里叶分析的光刻机成像模拟方法.光学工程,2015-02.
7张拓. 皮带机常见故障及对策分析.,2023-10.
8高香琳. 探究皮带机常见故障及对策.,2023-10.
9张拓. 皮带机常见故障及对策分析.,2023-12.
10赵振宝. ProspeedAlCT机常见故障维修.公共卫生与预防医学,2013-12.

来源期刊

上海电机学院学报

相关推荐

同分类资源更多

相关关键词

集成电路设备维修光刻机曝光

返回顶部