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浅析FFU在电子洁净室的应用

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摘要重点阐述了FFU的特点及控制方式，并结合现代电子洁净室对空气洁净度等级的要求；分析了FFU应用在洁净室中的优势，并介绍了FFU在实际工程案例中的应用。

DOI g4qx2v27j8/758748

作者覃建军

机构地区不详

出处《印制电路信息》 2009年6期

关键词风机过滤单元机组 DC干盘管洁净室空气洁净度等级

分类 [电子电信][微电子学与固体电子学]

出版日期 2009年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

印制电路信息

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