多晶硅动静设备的可靠性分析与寿命评估

摘要：本文对多晶硅动静设备的可靠性分析与寿命评估进行了探讨。首先介绍了可靠性分析的基本概念和指标，包括故障模式与影响分析（FMEA）、可靠性块图（RBD）、可靠性增长分析（RGA）以及可靠性试验与数据分析等常用方法。然后，探讨了多晶硅动静设备寿命评估的常用方法，包括加速寿命试验、寿命模型建立与参数估计、可靠度增长分析以及健康管理与剩余寿命评估。接下来，介绍了多晶硅动静设备可靠性与寿命改进措施，包括材料与制造工艺优化、故障诊断与预测技术应用以及维护与保养策略优化等方面。

• 作者: 邹东洋
• 出处: 《中国科技信息》 2023年9期
• 关键词: 多晶硅动静设备 可靠性分析 寿命评估 故障模式与影响分析
• 分类: [建筑科学][建筑技术科学]