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纳米半导体材料与器件研发制造工艺技术
纳米半导体材料与器件研发制造工艺技术
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摘要
摘 要: 本论文旨在探讨纳米半导体材料和器件的研发制造工艺技术。首先介绍了纳米材料和半导体器件的基本概念和特点,然后重点探讨了纳米半导体材料的制备方法和工艺技术,包括物理和化学合成方法。接下来,重点讨论了纳米半导体器件的制造工艺技术,包括纳米器件的设计、制备和性能测试。最后,对纳米半导体材料与器件研发制造工艺技术的应用前景进行了展望。
DOI
34g6g55wd9/7475179
作者
作者姓名:周良
王晟
何朱株
肖世杰
周启洋
机构地区
单位名称:中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂)单位省市:贵州省贵阳市单位邮编:550018
出处
《中国科技信息》
2023年7期
关键词
纳米材料
半导体器件
制备方法
工艺技术
应用前景
分类
[建筑科学][建筑技术科学]
出版日期
2023年08月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
中国科技信息
2023年7期
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