多晶硅还原生产常见问题及控制对策分析

在线阅读 下载PDF 导出详情
摘要 摘要:目前,通常使用改进的西门子方法生产多晶硅。作为多晶硅生产的关键设备,回转窑主要由底盘、喷嘴、电极和电极冷却水输入/输出管、钟摆壳体冷却水输入/输出管等组成。在实际生产中,由于重心偏移或沉积物生长过程中性能不佳,熔炉中的多晶硅棒经常会倾斜、断裂或断裂,因此多晶硅棒会落到内壁或外壳上 从而导致生产被迫中断,直接对回转窑造成严重破坏,不仅严重影响到单回转窑的生产效率,而且还造成高温多晶棒之间的直接碰撞。 在此过程中,一些金属杂质混入硅条中,增加了多晶制成品污染的可能性,另一方面增加了员工的工作量。
出处 《科技新时代》 2022年16期
分类 [][]
出版日期 2022年11月28日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)