分子泵和扩散泵真空系统节能减排分析

摘 要：本文以应用区域最广的高真空领域制取系统为研究对象，研究扩散泵和分子泵两类用途较为广泛的高真空泵系统的相关参数并进行节能分析。根据选定两种真空系统，分析能源发展趋势，分析高真空系统发展趋势，研究分子泵高真空系统初投资和能源成本之间关系，预测投资收益率，分析表明，在当前设定电价下，在3左右年时，基本两者运行费用已经相当。因此分子泵真空系统由于其优异的节能效果，正被广泛的应由于真空技术中。因此综上所述，对新常态下的真空系统，使用分子泵真空系统的优势明显，节能效果极为明显，具备极大的推广价值。

• 作者: 袁凤
• 出处: 《中国电气工程学报》 2022年5期
• 关键词: 真空制备，分子泵，扩散泵，节能
• 分类: [文化科学][]