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日开发半导体微细化及微细化替代技术

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摘要日本的产业技术综合研究所（产综研）于2008年4月1日成立了“纳米电子元件研究中心”。目的是推进半导体元件的微细化，以及开发取代CMOS晶体管微细化的、基于新原理的技术。

DOI kd2no8wed6/600186

作者

机构地区不详

出处《现代材料动态》 2008年6期

关键词半导体元件替代技术微细化开发产业技术综合研究所 CMOS晶体管

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2008年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）