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次镜高精度位移的控制系统

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摘要通过直流伺服电机、精密导轨、光栅尺位置反馈系统，建立了高精度次镜位置控制系统，并在光学系统上得到了应用。采用传统的PID位置控制算法，对次镜的位置控制精度达到了0．1μm。

DOI zdl10req4l/586716

作者葛成良;廖原;何忠武;雒仲祥;万敏;胡晓阳;黄志伟

机构地区不详

出处《中国工程物理研究院科技年报》 2006年1期

关键词位置控制系统高精度位置反馈系统位移直流伺服电机光学系统

分类 [理学][物理]

出版日期 2006年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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中国工程物理研究院科技年报

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