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电子扫描显微镜在半导体工业中的应用

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摘要摘要：本文介绍了扫描电镜的基本理论，对各组成部分逐一阐述，探讨特殊半导体样品的制备和电镜操作技巧，从而实现最佳的观测结果。

DOI 5jon2vqz4v/5327936

作者孙桂林

机构地区英飞凌半导体（无锡）有限公司

出处《科学与技术》 2021年8期

关键词

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2021年07月08日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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