首个高纯微电子化学品项目投产

经过一年多的建设，年产15000吨的我国首个超净高纯微电子化学品项目于2006年9月在上海华谊微电子材料有限公司建成投产。项目包括了大规模集成电路制造所需的超净高纯硫酸、硝酸、盐酸、醋酸、氨水、氢氧化铵、双氧水等各种主要化学品，改变了国内此类产品完全依赖进口的状况。

• 出处: 《无机化工信息》 2006年3期
• 关键词: 电子化学品 项目 高纯 投产 集成电路制造 微电子材料
• 分类: [化学工程][无机化工]