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2019年10期
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硅基半导体芯片激光红外显微成像系统研究
硅基半导体芯片激光红外显微成像系统研究
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摘要
摘要为了解决可见光显微成像技术无法实现硅基芯片内部结构观测的问题,根据1064nm的红外激光对硅材料具有一定穿透深度的特性,设计了一种硅基半导体芯片激光红外显微成像系统。该系统采用数值孔径为0.42的长工作距显微物镜,通过音圈电机振动多模石英光纤消除散斑噪音,由系统观察CD-RW盘片道间距,表明系统分辨率可达到1.6μm,接近理论值,实现了对芯片厚度为70μm的静态随机存储器内部结构显微成像的观测。
DOI
54yxkvkxd0/3983052
作者
黄晶
机构地区
(中芯国际集成电路制造(天津)有限公司,天津300385)
出处
《知识-力量》
2019年10期
关键词
半导体芯片
激光红外显微成像
多模石英光纤
音圈电机
分类
[文化科学][]
出版日期
2019年10月20日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
知识-力量
2019年10期
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