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《电力设备》
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2018年28期
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热氧化工艺的双面率的研究
热氧化工艺的双面率的研究
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摘要
摘要二氧化硅(SiO2)薄膜是一种良好的表面钝化膜和介质膜,广泛应用于太阳电池和微电子工艺。二氧化硅薄膜的制备方法主要有热氧化法和化学气相沉积法。热氧化工艺是指在高温(600-1000℃)下氧化硅片表面形成SiO2薄膜,包括干氧氧化、湿氧氧化以及水汽氧化。使用氧化炉在高温有氧条件下生成致密性较好的二氧化硅层在PERC电池上会引起对杂质的再分布,对电池的电性能提升,有一定的效果。
DOI
54yng1g1j0/3590104
作者
李跃恒杨爱静陈璐
机构地区
(中电投西安太阳能电力有限公司陕西西安710100)
出处
《电力设备》
2018年28期
关键词
热氧化
双面率
电池转化效率
分类
[电气工程][电力系统及自动化]
出版日期
2018年12月22日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
电力设备
2018年28期
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