首页
期刊导航
期刊检索
论文检索
新闻中心
期刊
期刊
论文
首页
>
《工业金刚石》
>
2005年1期
>
金刚石化学机械抛光垫修整器的发展方向与前景(上)
金刚石化学机械抛光垫修整器的发展方向与前景(上)
打印
分享
在线阅读
下载PDF
导出详情
摘要
半导体芯片的生产主要依靠化学机械抛光(CMP)工序使硅片表面平坦化,使复杂的集成电路能非常有效地工作。做为电路设计不可避免地趋向于采用高度集成和多层结构。故化学机械抛光技术必须紧跟其需要与发展。化学机械抛光垫性能的关键是采用金刚石化学机械抛光垫修整器工作时,抛光垫工作寿命期间,必须保持恒定的抛光效果。
DOI
lpd59zvw47/276923
作者
T.Ohi;姜荣超
机构地区
不详
出处
《工业金刚石》
2005年1期
关键词
修整器
化学机械抛光
抛光效果
金刚石
表面
石化
分类
[金属学及工艺][刀具与模具]
出版日期
2005年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
相关文献
1
张宽.
化学机械抛光中抛光垫技术专利文献综述
.职业技术教育学,2016-04.
2
史洪国.
化学机械抛光专利技术分析
.建筑理论,2023-08.
3
刘春香;杨洪星;吕菲;赵权.
锗晶片化学机械抛光的条件分析
.物理电子学,2008-01.
4
彭虎.
解析化学机械抛光机机械本体设计
.建筑设计及理论,2015-12.
5
赵之雯.
蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺研究
.材料科学与工程,2007-05.
6
郝兆印.
我国金刚石单晶生产的发展方向
.刀具与模具,1999-06.
7
邓华.
一种金刚石修整器的制造方法
.刀具与模具,2002-02.
8
高同军.
光学玻璃化学机械抛光微观材料去除机制分析
.,2023-04.
9
崔仲呜;王光祖.
纳米金刚石作为抛光材料的应用
.刀具与模具,2009-01.
10
王振明.
从市场角度探讨金刚石工具产业的发展方向
.刀具与模具,2001-04.
来源期刊
工业金刚石
2005年1期
相关推荐
锗化学机械抛光工艺中绿色环保氧化剂的研究
我国金刚石锯片的应用前景与发展对策
纳米金刚石应用的潜在发展前景
金刚石与触媒
人造金刚石支持新型激光器发展
同分类资源
更多
[刀具与模具]
特殊类型金刚石的特性及其技术应用
[刀具与模具]
关于叶腊石中水的状态的讨论
[刀具与模具]
专业人才短缺成为技术革新的最大障碍
[刀具与模具]
用拱形金刚石锯片切割隧道避人洞
[刀具与模具]
新型粉末制粒机
相关关键词
修整器
化学机械抛光
抛光效果
金刚石
表面
石化
返回顶部