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节水型超声波清洗设备

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摘要前言近年来,随着人们环保意识的提高,在LCD制造工厂,降低清洗设备使用的药液、纯水、排气等的用量及降低废液、废水处理负荷已经成了最大的课题.

DOI pj0z06g84y/2149027

作者冈野胜一;王青

机构地区不详

出处《洗净技术》 2003年05M期

关键词液晶显示器节水型超声波清洗设备机能水清洗性能

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2003年02月27日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

洗净技术

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