线路犬齿原因分析与改善

线路犬齿状在表观上呈现为线边呈锯齿，轻微的犬齿对线宽无影响，突出位置线宽一般均在20％要求以内，但是严重的时候线宽超出20％的要求，导致产品报废；线路犬齿容易在信号传输过程中产生杂音，影响信号的准确性，特别是在高频信号传输方面；文章通过曝光、显影、电镀等因素进行正交试验，分析实际生产过程中遇到的线路犬齿现象的原因，并制定改善线路犬齿的措施。

• 作者: 谢明运;关俊轩
• 出处: 《印制电路信息》 2015年A01期
• 关键词: 碱性蚀刻 线路犬齿 曝光 显影 电镀
• 分类: [电子电信][微电子学与固体电子学]