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Impact of surface phase coexistence on the development of step-free areas on Si（111）

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DOI ojz7m61045/1515722

作者 Andreas FISSEL Ayan Roy CHAUDHURI Jan KRUGENER Philipp GRIBISCH H. Jorg OSTEN

机构地区不详

出处《材料科学前沿：英文版》 2015年2期

关键词表面相台阶共存 SI(111) 生长行为硅

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2015年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

材料科学前沿：英文版

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