IBAD氮化钛中N/Ti对膜层性能影响研究-中国期刊网

摘要研究了离子束辅助沉积(IBAD)制备氮化钛(TiN)重要参数氮钛到达比(N/Ti)对膜层性能的影响,并且采用俄歇谱分析(AES)、光电子谱分析(XPS)、X射线衍射分析(XRD)对膜层进行了相组成与成分分析,摸索了N/Ti对膜层的影响规律.

1蔡志海;张平;杜军;赵军军. 轰击能量对Ti-Si-N纳米复合膜生长与力学性能的影响.军事理论,2007-05.
2翟敏,李彦峰,段党全,田转丽,谭雅琴. 不同表面状态对表面处理膜层性能影响研究.建筑技术科学,2022-01.
3赵升升. N2分压对（Ti，A1）N涂层成分、结构及力学性能的影响水.职业技术教育学,2012-03.
4李广录. TFT中PECVD氮化硅成膜参数对成膜速率的影响研究.,2021-11.
5袁红梅;杨兵;李佳;吴明晶;陈利. Si掺杂对Al-Ti-N涂层的结构、力学性能和抗氧化性能的影响.粉末冶金,2013-01.
6王红星;张炎;杨少锋;柳秉毅. 包渗温度对Ti-Al渗层组织和耐磨性能的影响.金属材料,2014-02.
7张东方. 表面处理对氮化硅陶瓷力学性能的影响.陶瓷工业,2003-05.
8孔祥鹏;赵煜;张林香;王俊文. 氮化钛纳米粉体材料的研究进展.材料科学与工程,2010-01.
9黎仕增;甘善泽;杨浩佩. 试论Bi和Ti对铸铁焊条焊接性能的影响.职业技术教育学,2013-02.
10Thuy-Duong Thi Nguyen;So-Hee Moon;Tae-Ju Oh;Jung-Jin Seok;Min-Ho Lee;Tae-Sung Bae;蓝凯文;滕伟. 表面改性钛膜和原始钛膜对大鼠颅骨缺损模型引导骨再生的比较研究.口腔医学,2018-01.

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